电子特气 | 耐高压耐腐蚀的颗粒计数创新方案

市场背景

随着5G、人工智能、物联网等新一代信息技术的迅猛发展，电子信息产业对电子特气的需求呈现出爆发式增长。特别是在半导体领域，随着芯片制造工艺的不断进步，对电子特气的纯度、稳定性以及颗粒度等性能要求也越来越高。半导体制造过程中，微小的颗粒污染都可能对芯片的质量和性能产生严重影响，因此，对电子特气中的颗粒度进行精确检测成为保障半导体产品质量的重要环节。

电子特气作为半导体产业的关键材料之一，其市场需求持续扩大。随着全球及中国半导体产业的快速发展，对电子特气的需求也将大幅增长。在这一背景下，电子特气颗粒度检测的市场需求也随之增加。

针对电子特气中颗粒度检测的复杂性与挑战性，Ok138大阳城集团推出了型号为MUST OP2的颗粒计数仪。该仪器具备高度灵敏性与精确性，能够针对电子特气中的颗粒度进行细致且准确的分析，尤其适用于诸如硅烷气中颗粒度的精确检测，以及氟氮混合气中颗粒度的有效测定。通过其高效的技术手段，MUST OP2颗粒计数仪为解决电子特气领域中的颗粒度检测难题提供了强有力的支持。

Ok138大阳城集团颗粒计数仪MUST OP2示意图

产品简介

1、颗粒计数仪原理

颗粒计数仪依据颗粒对光的散射或衍射效应来测定颗粒的尺寸。当光线在传播途中遇到颗粒时，会发生方向上的偏移，且这种偏移的程度与颗粒的大小成反比：颗粒越小，光的偏离程度越大；颗粒越大，光的偏离程度则越小。在一定条件下，颗粒越小，散射光的分布范围越广。假设颗粒为完美的球形(在粒度测量中，常采用此假设)，散射光会形成中心明亮的斑点，周围环绕着一系列明暗交替的同心圆环，这种光斑模式被称为“爱里斑”。其中，中心亮斑集中了散射光总能量的83.8%，因此，通常将中心亮斑到第一个暗环之间的角度距离视为爱里斑的半径，或者作为颗粒对光散射的角度衡量。

2、颗粒计数仪组成

颗粒计数仪主要由三大部分构成：发射系统、接收系统以及测量窗口。发射系统集成了光源(即激光器)与光束处理器件，其功能是产生单色且平行的光线，作为仪器的照明源。接收系统，其核心在于傅里叶透镜与光电探测器，是仪器光学设计的精髓所在。测量窗口则设计用于让待测样品在悬浮状态下穿越测量区域，从而允许仪器捕获并分析样品的粒度特征。

激光器发射的细激光束，经过空间滤波与准直技术的处理，转化为纯净且平行的扩展光束。当此平行光束照射到测量窗口内的颗粒时，会引发散射现象。散射光线通过傅立叶透镜后，相同散射角的光线会被汇聚到探测器上同一半径的位置。每个探测单元所输出的光电信号，均代表了一个特定角度范围(该范围由探测器的内外半径差异及透镜焦距决定)内的散射光能量。所有探测单元输出的信号共同构成了散射光能的分布图谱。

尽管散射光的强度分布通常呈现出中心强、边缘弱的特征，但由于探测单元的面积设计为中心小、边缘大，因此测得的光能分布峰值往往位于中心与边缘之间的某个探测单元上。当颗粒的直径减小时，散射光的分布范围会相应扩大，光能分布的峰值也会随之向边缘移动。因此，不同大小的颗粒会产生不同的光能分布模式，反之，通过测量得到的光能分布也可以反推出样品的粒度分布。

3、颗粒计数仪特点

• 高精度测量

采用6个粒径通道，覆盖从0.1µm到5.0µm的广泛范围，确保测量结果的准确性。最小精度达到0.1µm，能够精确测量微小颗粒的尺寸。

• 稳定精确

采用长寿命激光二极管技术，运用光学和光电二极管系统，结合温度补偿，提高仪器稳定性。接收器由傅里叶透镜和光电探测器组成，有效捕捉散射光信号，确保光能分布的精确测量。

• 可靠耐用

设计考虑到了可靠性和质量，采用长寿命激光二极管技术，减少日常维护需求。

• 适用广泛

支持多种测量介质(如CDA、N2、He、Ar、SiH4、F2&N2等)，适应不同工作环境。采样压力范围广，满足多种压力条件下的测量需求。高测量流速适用于快速颗粒分析场景。符合ISO 21501校正标准，测量结果的国际认可性。

• 用户友好性

配备8英寸彩色触摸屏，操作界面直观易用，提高操作效率。仪器安装、维护便捷，减少用户操作难度。提供中英文双语支持，满足不同语言用户的需求。强大的软件功能，包括历史曲线查看、颗粒单位切换等，方便用户进行数据分析和管理。

• 支持多功能数据输出

提供U盘、热敏打印机、4-20mA、Modbus等多种数据输出方式，满足不同应用场景的数据传输需求。配备智能终端监控软件，支持实时数据查看、历史数据查询、数据导出等功能，提升用户体验。

4、技术参数

联系我们

如需了解更多关于Ok138大阳城集团的颗粒计数仪MUST OP2的信息，或有任何关于应用和技术支持的疑问，欢迎致电我们的客服热线021-34686537，我们将竭诚为您服务。