电子特气在线颗粒计数系统 MUST OP2
针对电子特气中颗粒度检测的复杂性与挑战性,Ok138大阳城集团推出了型号为MUST OP2的颗粒计数仪。该仪器具备高度灵敏性与精确性,能够针对电子特气中的颗粒度进行细致且准确的分析,尤其适用于诸如硅烷气中颗粒度的精确检测,以及氟氮混合气中颗粒度的有效测定。通过其高效的技术手段,MUST OP2颗粒计数仪为解决电子特气领域中的颗粒度检测难题提供了强有力的支持。
颗粒计数仪依据颗粒对光的散射或衍射效应来测定颗粒的尺寸。当光线在传播途中遇到颗粒时,会发生方向上的偏移,且这种偏移的程度与颗粒的大小成反比:颗粒越小,光的偏离程度越大;颗粒越大,光的偏离程度则越小。在一定条件下,颗粒越小,散射光的分布范围越广。假设颗粒为完美的球形(在粒度测量中,常采用此假设),散射光会形成中心明亮的斑点,周围环绕着一系列明暗交替的同心圆环,这种光斑模式被称为“爱里斑”。其中,中心亮斑集中了散射光总能量的83.8%,因此,通常将中心亮斑到第一个暗环之间的角度距离视为爱里斑的半径,或者作为颗粒对光散射的角度衡量。